电子级氧化铪：Hf02≥99.9% ，Zr02/(Hf02+Zr02)≤0.002%
1级氧化铪：Hf02≥99% ，Zr02/(Hf02+Zr02)≤0.2%
2级氧化铪：Hf02≥99% ，Zr02/(Hf02+Zr02)≤0.5%
3级氧化铪：Hf02≥98% ，Zr02/(Hf02+Zr02)≤1%
4级氧化铪：Hf02≥97% ，Zr02/(Hf02+Zr02)=1~3%

核级氧化锆：Zr02≥98.5%，Hf02/ (Hf02+Zr02)≤0.005%