电子级氧化铪：HfO2≥99.9% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.002%
1级氧化铪：HfO2≥99% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.2%
2级氧化铪：HfO2≥99% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤0.5%
3级氧化铪：HfO2≥98% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤1%
4级氧化铪：HfO2≥97% ，ZrO2/(HfO2+ZrO2)≤3%

核级氧化锆：ZrO2≥98.5%，HfO2/ (HfO2+ZrO2)≤0.005%